雷尼绍与多普勒激光干涉仪测量方法比较
郭然
2006-09-20
发表期刊机电工程
ISSN1001-4551
期号09页码:53-54+57
摘要介绍了雷尼绍激光干涉仪和多普勒激光干涉仪的测量原理,并对这两种激光干涉仪的测量方法进行了比较。结果表明,当只需要测量机床的线性定位精度时,两者都比较适合。当需要测量机床的所有几何误差时,由于多普勒激光干涉仪采用了激光向量技术,测量周期大大缩短,测量效率较高。
关键词数控机床 误差检测 激光干涉仪
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语种中文
原始文献类型学术期刊
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.library.ouchn.edu.cn/handle/39V7QQFX/112396
专题国家开放大学
作者单位衢州市广播电视大学 浙江衢州324000
推荐引用方式
GB/T 7714
郭然. 雷尼绍与多普勒激光干涉仪测量方法比较[J]. 机电工程,2006(09):53-54+57.
APA 郭然.(2006).雷尼绍与多普勒激光干涉仪测量方法比较.机电工程(09),53-54+57.
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