| 工作气压对TiO2薄膜结构的影响 |
| 李哲奎; 顾广瑞; 孙文斗; 李全军; 赵永年
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| 2004-06-20
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| 发表期刊 | 延边大学学报(自然科学版)
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| ISSN | 1004-4353
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| 期号 | 02页码:96-99 |
| 摘要 | 用射频磁控溅射方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了TiO2薄膜,Raman光谱测量表明,工作气压从0.2Pa变化到2Pa时,TiO2薄膜的结构由金红石相变化到锐钛矿相,厚度对TiO2薄膜结构没有明显影响. |
| 关键词 | TiO2薄膜
Raman光谱
金红石
锐钛矿
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| DOI | 10.16379/j.cnki.issn.1004-4353.2004.02.005
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| URL | 查看原文
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| 语种 | 中文
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| 原始文献类型 | 学术期刊
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.library.ouchn.edu.cn/handle/39V7QQFX/120272
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| 专题 | 国家开放大学吉林分部
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| 作者单位 | 延边大学理工学院物理系;延边广播电视大学;吉林大学超硬材料国家重点实验室
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| 第一作者单位 | 国家开放大学吉林分部
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| 第一作者的第一单位 | 国家开放大学吉林分部
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
李哲奎,顾广瑞,孙文斗,等. 工作气压对TiO2薄膜结构的影响[J].
延边大学学报(自然科学版),2004(02):96-99.
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| APA |
李哲奎,顾广瑞,孙文斗,李全军,&赵永年.(2004).工作气压对TiO2薄膜结构的影响.延边大学学报(自然科学版)(02),96-99.
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| MLA |
李哲奎,et al."工作气压对TiO2薄膜结构的影响".延边大学学报(自然科学版) .02(2004):96-99.
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