| 一种超光滑氧化铝薄膜的制备方法 |
| 陈玲; 李朝伟; 陈秋
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| 2023-04-07
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| 原始专利权人 | 云南开放大学
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| 授权国家 | 中国
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| 摘要 | 本发明公开一种超光滑氧化铝薄膜的制备方法，属于薄膜材料制备技术领域。本发明所述方法包括氧化铝溶胶的制备：按8～12g/L的比例将仲丁醇铝溶于水中，再以硝酸调节pH为2～3，得氧化铝溶胶，将该溶胶陈化5天待用；按3～10g/L的比例在溶胶中加入乙酸锌粉末，搅拌溶解，取载玻璃或硅片清洗、干燥待用；镀膜：用提拉法、匀胶机、涂抹或喷雾法在载体上镀膜，室温干燥，然后用马弗炉对其进行烧结，得到超光滑氧化铝薄膜。本发明所述方法工艺简单，适用于各种平面和曲面的超光滑氧化膜的制备，制备得到的氧化铝薄膜没有缺陷和裂纹，表面粒度可达2nm。 |
| 申请日期 | 2020-10-15
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 授权
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| 申请号 | CN202011114447.3
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| 公开（公告）号 | CN112225467B
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| IPC 分类号 | C03C17/25
; H01L21/02
; C01F7/36
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| 专利代理人 | 龙燕
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| 代理机构 | 昆明合盛知识产权代理事务所(普通合伙)
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| CPC分类号 | H01L21/02178
; H01L21/02271
; C03C17/23
; C01F7/02
; C03C2217/214
; Y02P70/50
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| 专利类型 | 授权发明
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| 授权日期 | 2023-04-07
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.library.ouchn.edu.cn/handle/39V7QQFX/164800
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| 专题 | 国家开放大学云南分部
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| 作者单位 | 云南开放大学
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| 第一作者单位 | 国家开放大学云南分部
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
陈玲,李朝伟,陈秋. 一种超光滑氧化铝薄膜的制备方法[P]. 2023-04-07.
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文件名：
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CN202011114447.3.PDF
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格式：
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Adobe PDF
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