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具有驻留时间约束和晶圆清洁操作的半导体制造系统调度与优化研究 期刊论文
工业工程, 2024
作者:  卢艳君;  刘兆霆;  乔宇龙;  潘春荣
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2024/11/27
半导体晶圆快速冷却装置的设计 期刊论文
自动化与仪器仪表, 2018, 卷号: No.223, 期号: 05, 页码: 119-122+126
作者:  赵继忠;  吴硕;  李大伟
收藏  |  浏览/下载：168/0  |  提交时间：2023/05/16
晶圆  冷却  Pt100  装置  
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