| PDMS微小流路微加工技术的研究 |
| 金鹏; 谭久彬; 刘岩
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| 2001-09-30
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| 发表期刊 | 微细加工技术
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| ISSN | 1003-8213
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| 期号 | 03页码:31-34 |
| 摘要 | PDMS(Polydimethylsiloxane ,聚二甲基硅氧烷 )微小流路的微加工技术 ,由于具有加工周期短 ,加工成本低 ,可进行批量生产 ,易获得高深宽比的微小结构等特点 ,日益成为微小流路加工技术中一个研究热点。对PDMS微小流路的特性进行了分析 ,实验结果表明 ,该方法完全适用于 μTAS系统及其他生物化学分析仪器中微小流路的加工。 |
| 关键词 | PDMS(Polydimethylsiloxane
聚二甲基硅氧烷)
高深宽比
微小结构
微型全量分析系统(μTAS)
深层刻蚀工艺
微复制工艺
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| URL | 查看原文
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| 语种 | 中文
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| 原始文献类型 | 学术期刊
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.library.ouchn.edu.cn/handle/39V7QQFX/126526
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| 专题 | 国家开放大学黑龙江分部
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| 作者单位 | 哈尔滨工业大学自动化测试及控制系!哈尔滨150001;黑龙江广播电视大学!哈尔滨150080
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| 第一作者单位 | 国家开放大学黑龙江分部
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| 第一作者的第一单位 | 国家开放大学黑龙江分部
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
金鹏,谭久彬,刘岩. PDMS微小流路微加工技术的研究[J].
微细加工技术,2001(03):31-34.
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| APA |
金鹏,谭久彬,&刘岩.(2001).PDMS微小流路微加工技术的研究.微细加工技术(03),31-34.
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| MLA |
金鹏,et al."PDMS微小流路微加工技术的研究".微细加工技术 .03(2001):31-34.
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