| 微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术 | |
| 金鹏; 谭久彬; 刘岩 | |
| 2001-03-30 | |
| 发表期刊 | 传感器技术
 |
| ISSN | 1000-9787 |
| 期号 | 03页码:51-53 |
| 摘要 | 简要介绍了基于磁控射频溅射技术的Si3 N4 薄膜沉积技术及Si3 N4 薄膜基于剥离 (lift-off)技术的微加工技术。实验结果表明该技术适用于微型传感器及MEMS中绝缘薄膜的加工 |
| 关键词 | 微型传感器 微型机电系统 氮化硅薄膜 磁控射频溅射 剥离技术 微加工技术 |
| DOI | 10.13873/j.1000-97872001.03.018 |
| URL | 查看原文 |
| 收录类别 | 北大核心 |
| 语种 | 中文 |
| 原始文献类型 | 学术期刊 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.library.ouchn.edu.cn/handle/39V7QQFX/126527 |
| 专题 | 国家开放大学黑龙江分部 |
| 作者单位 | 哈尔滨工业大学自动化测试及控制系!黑龙江哈尔滨150001;黑龙江广播电视大学!黑龙江哈尔滨150080 |
| 第一作者单位 | 国家开放大学黑龙江分部 |
| 第一作者的第一单位 | 国家开放大学黑龙江分部 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金鹏,谭久彬,刘岩. 微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术[J]. 传感器技术,2001(03):51-53. |
| APA | 金鹏,谭久彬,&刘岩.(2001).微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术.传感器技术(03),51-53. |
| MLA | 金鹏,et al."微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术".传感器技术 .03(2001):51-53. |
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