一种半导体器件检测用四探针测试仪
卫静婷; 陈利伟
2020-11-10
原始专利权人广东开放大学(广东理工职业学院)
授权国家中国
摘要本实用新型公开了一种半导体器件检测用四探针测试仪,包括测试仪本体,所述测试仪本体上端中部固定连接有等距分布的减震弹簧,所述测试仪本体左右两侧上端均固定连接有卡块,所述测试仪本体上端活动连接有测试架底板,所述测试架底板上端固定连接有左右对称设置的垂直侧板,所述垂直侧板和另一垂直侧板间固定连接有顶板,所述顶板上开设有螺纹孔,所述螺纹孔内螺纹连接有丝杆,所述丝杆下端转动连接有固定座,所述固定座下端固定连接有安装座。该半导体器件检测用四探针测试仪,提高装置的稳定性,缩小装置占地面积,进一步提高测试仪本体与测试架底板间连接的牢固性,提高测试架底板的减震效果,有效提高安装座上下移动时的平稳性。
申请日期2020-03-25
语种中文
专利状态授权
申请号CN202020392377.7
公开(公告)号CN211905462U
IPC 分类号G01R1/073 ; G01R31/26
专利代理人周小涛
代理机构深圳市鼎泰正和知识产权代理事务所(普通合伙)
专利类型实用新型
授权日期2020-11-10
文献类型专利
条目标识符http://ir.library.ouchn.edu.cn/handle/39V7QQFX/164645
专题国家开放大学广东分部
作者单位广东开放大学(广东理工职业学院)
第一作者单位国家开放大学广东分部
推荐引用方式
GB/T 7714
卫静婷,陈利伟. 一种半导体器件检测用四探针测试仪[P]. 2020-11-10.
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