一种快捷的半导体器件清洗装置
卫静婷; 陈利伟
2019-12-24
原始专利权人广东开放大学(广东理工职业学院)
授权国家中国
摘要本实用新型公开了一种快捷的半导体器件清洗装置,其结构机体、支脚、出水管和调节阀,通过在机体顶底左部设置加气装置,将中空板与硬管分别经过板槽和杆槽处取下置入到清洗滤桶内部底端,经过外部供气机的充气口与置气软管左端密闭连接并固定,再启动外部的供气机使得气流在中空板顶端面向上冲出,使得清洗液向上流动,达到了经过增加向上的充气部件而加大对清洗液的震荡效果以加快清洗的有益效果;并且在机体底端中部设置滤水装置,经过启动驱动电机运转,使得转动轴在轴承作用下带动连接座转动,而连接座顶端中部的连接槽与清洗滤桶底端的连接凸块螺纹连接固定,从而清洗滤桶转动,达到了通过离心方式以便于进行沥干的有益效果。
申请日期2019-06-17
语种中文
专利状态授权
申请号CN201920910245.6
公开(公告)号CN209843675U
IPC 分类号H01L21/67 ; B08B3/12 ; B08B3/14
专利代理人陈文姬
代理机构深圳市鼎泰正和知识产权代理事务所(普通合伙)
专利类型实用新型
授权日期2019-12-24
文献类型专利
条目标识符http://ir.library.ouchn.edu.cn/handle/39V7QQFX/165266
专题国家开放大学广东分部
作者单位广东开放大学(广东理工职业学院)
第一作者单位国家开放大学广东分部
推荐引用方式
GB/T 7714
卫静婷,陈利伟. 一种快捷的半导体器件清洗装置[P]. 2019-12-24.
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