浅析SiC材料特性及生长工艺
瞿诗瑜
2016-09-25
发表期刊黑龙江科技信息
ISSN1673-1328
期号27页码:110-111
摘要SiC材料因为具有宽禁带、较高的临界击穿电场、较高的饱和电子速率以及非常高的热导率等优良特性,非常适合被用来制作高温、高频、大功率器件。本文对SiC的晶体结构及材料特性进行了简单介绍,并浅析了SiC材料的生长工艺及优缺点,对后续SiC研究趋势进行了展望。
关键词SiC 材料 工艺
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语种中文
原始文献类型学术期刊
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.library.ouchn.edu.cn/handle/39V7QQFX/62389
专题国家开放大学陕西分部
作者单位陕西广播电视大学
第一作者单位国家开放大学陕西分部
第一作者的第一单位国家开放大学陕西分部
推荐引用方式
GB/T 7714
瞿诗瑜. 浅析SiC材料特性及生长工艺[J]. 黑龙江科技信息,2016(27):110-111.
APA 瞿诗瑜.(2016).浅析SiC材料特性及生长工艺.黑龙江科技信息(27),110-111.
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