| 薄圆片石英晶体应力分布及谐振器力频实验 | |
| 罗兵1; 田文杰1; 邹淑芳2 | |
| 2009-08-15 | |
| 发表期刊 | 微纳电子技术
 |
| ISSN | 1671-4776 |
| 卷号 | 46期号:08页码:489-493 |
| 摘要 | 利用ANSYS有限元理论模型分析AT切石英晶体受沿x轴方向的对径力作用时晶片内的应力分布情况,并计算三电极位置处的应力变化比值。测试了三电极谐振器的基频振荡频率,并计算其相应的力频系数。通过比较ANSYS仿真分析的结果和实验所得结果,表明ANSYS仿真分析计算结果与实验结果基本一致,从而证明ANSYS仿真分析是可行的。因此,在同一晶体基片上设计谐振器时,可借助有限元分析手段,根据晶片内的应力分布情况,在有限空间范围内初步选择应力变化差异较大的位置设置电极,以此获得力频敏感特性显著的集成式石英晶体谐振器。 |
| 关键词 | 石英晶体 ANSYS分析 谐振器 力频灵敏度系数 应力分布 |
| URL | 查看原文 |
| 收录类别 | 北大核心 |
| 语种 | 中文 |
| 资助项目 | 北京市自然科学基金(4082011);北京(传感器)重点实验室开放课题基金(KM200810772008);北京市教委科技创新平台基金资助项目(PXM2008_014224_067420) |
| 原始文献类型 | 学术期刊 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.library.ouchn.edu.cn/handle/39V7QQFX/95216 |
| 专题 | 国家开放大学云南分部 |
| 作者单位 | 1.北京信息科技大学传感器重点实验室; 2.云南广播电视大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗兵,田文杰,邹淑芳. 薄圆片石英晶体应力分布及谐振器力频实验[J]. 微纳电子技术,2009,46(08):489-493. |
| APA | 罗兵,田文杰,&邹淑芳.(2009).薄圆片石英晶体应力分布及谐振器力频实验.微纳电子技术,46(08),489-493. |
| MLA | 罗兵,et al."薄圆片石英晶体应力分布及谐振器力频实验".微纳电子技术 46.08(2009):489-493. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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