| 电极材料对集成式谐振器力敏特性的影响 | |
| 霍静1; 田文杰1; 田双1; 邹淑芳2 | |
| 2009-02-05 | |
| 发表期刊 | 电子元件与材料
 |
| ISSN | 1001-2028 |
| 卷号 | 28期号:02页码:38-41 |
| 摘要 | 设计制作了同一晶片上的集成三电极的谐振器。研究了这种谐振器的力敏特性与加力方位、电极材料的关系。并对电极材料分别为Au、Al的谐振器进行了比较实验。结果表明,谐振器的力敏特性与加力方位密切相关,加力方位与x轴夹角ψ为0°时,力敏系数最大;电极材料通过对石英晶体谐振器有效机电耦合系数的影响,进而影响谐振器的力–频特性。集成式谐振器在相同加力方位时,镀Au电极比Al电极的力敏系数最大可高出189.8Hz/N。 |
| 关键词 | 集成式谐振器 力敏特性 电极材料 |
| URL | 查看原文 |
| 收录类别 | 北大核心 ; CSCD |
| 语种 | 中文 |
| 资助项目 | 北京市自然科学基金资助项目(No.4082011);北京(传感器)重点实验室开放课题基金资助项目(No.KM200710772022) |
| 原始文献类型 | 学术期刊 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.library.ouchn.edu.cn/handle/39V7QQFX/95641 |
| 专题 | 国家开放大学云南分部 |
| 作者单位 | 1.北京信息科技大学传感器重点实验室; 2.云南广播电视大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 霍静,田文杰,田双,等. 电极材料对集成式谐振器力敏特性的影响[J]. 电子元件与材料,2009,28(02):38-41. |
| APA | 霍静,田文杰,田双,&邹淑芳.(2009).电极材料对集成式谐振器力敏特性的影响.电子元件与材料,28(02),38-41. |
| MLA | 霍静,et al."电极材料对集成式谐振器力敏特性的影响".电子元件与材料 28.02(2009):38-41. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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